کیمیاوي-میخانیکي پالش کول (CMP) ډیری وختونه د کیمیاوي تعامل له لارې د نرمو سطحو په تولید کې ښکیل وي، په ځانګړي توګه د سیمیکمډکټر جوړولو په صنعت کې کار کوي.لون میټر، یو باوري نوښتګر چې د انلاین غلظت اندازه کولو کې د 20 کلونو څخه ډیر تخصص لري، د عصري ټیکنالوژۍ وړاندیز کويغیر اټومي کثافت میټرونهاو د واسکاسیټي سینسرونه د سلیري مدیریت ننګونو ته د رسیدو لپاره.
د سلیري کیفیت اهمیت او د لون میټر تخصص
د کیمیاوي میخانیکي پالش کولو سلری د CMP پروسې د ملا تیر دی، چې د سطحو یووالي او کیفیت ټاکي. د سلری غیر متناسب کثافت یا واسکاسیټي کولی شي د مایکرو سکریچونو، غیر مساوي موادو لرې کولو، یا د پیډ بندیدو، د ویفر کیفیت سره موافقت او د تولید لګښتونو زیاتوالي په څیر نیمګړتیاو لامل شي. لونمیټر، د صنعتي اندازه کولو حلونو کې یو نړیوال مشر، د انلاین سلری اندازه کولو کې تخصص لري ترڅو د سلری غوره فعالیت ډاډمن کړي. د باور وړ، لوړ دقیق سینسرونو وړاندې کولو ثابت ریکارډ سره، لونمیټر د مخکښو سیمیکمډکټر تولید کونکو سره ملګرتیا کړې ترڅو د پروسې کنټرول او موثریت لوړ کړي. د دوی غیر اټومي سلری کثافت میټرونه او ویسکوسیټي سینسرونه په ریښتیني وخت کې معلومات چمتو کوي، د سلری تسلسل ساتلو او د عصري سیمیکمډکټر تولید سختو غوښتنو پوره کولو لپاره دقیق تنظیمات فعالوي.
د انلاین غلظت اندازه کولو کې د دوو لسیزو څخه ډیر تجربه، چې د غوره سیمیکمډکټر شرکتونو لخوا باور لري. د لون میټر سینسرونه د بې ساري ادغام او صفر ساتنې لپاره ډیزاین شوي، عملیاتي لګښتونه کموي. د ځانګړو پروسې اړتیاو پوره کولو لپاره مناسب حلونه، د لوړ ویفر حاصلاتو او اطاعت ډاډمن کول.
د سیمیکمډکټر په تولید کې د کیمیاوي میخانیکي پالش کولو رول
کیمیاوي میخانیکي پالش کول (CMP)، چې د کیمیاوي میخانیکي پلانر کولو په نوم هم یادیږي، د سیمیکمډکټر تولید یو بنسټ دی، چې د پرمختللي چپ تولید لپاره د فلیټ، عیب څخه پاک سطحو رامینځته کولو توان ورکوي. د میخانیکي خارښت سره د کیمیاوي ایچینګ یوځای کولو سره، د CMP پروسه د 10nm څخه ښکته نوډونو کې د څو پرتونو مدغم سرکټونو لپاره اړین دقت ډاډمن کوي. د کیمیاوي میخانیکي پالش کولو سلری، چې د اوبو، کیمیاوي ریجنټونو، او خارښت کونکو ذراتو څخه جوړ شوی، د پالش کولو پیډ او ویفر سره تعامل کوي ترڅو مواد په مساوي ډول لرې کړي. لکه څنګه چې د سیمیکمډکټر ډیزاینونه وده کوي، د CMP پروسه د زیاتیدونکي پیچلتیا سره مخ کیږي، د سلری ملکیتونو باندې سخت کنټرول ته اړتیا لري ترڅو د نیمګړتیاوو مخه ونیسي او د سیمیکمډکټر فاونډریانو او موادو عرضه کونکو لخوا غوښتل شوي نرم، پالش شوي ویفرونه ترلاسه کړي.
دا پروسه د لږترلږه نیمګړتیاو سره د 5nm او 3nm چپس تولید لپاره اړینه ده، کوم چې د راتلونکو طبقو د دقیق زیرمه کولو لپاره فلیټ سطحې تضمینوي. حتی کوچنۍ سلیري ناانصافي کولی شي د ګران بیا کار یا د حاصلاتو ضایع کیدو لامل شي.
د سلیري ملکیتونو په څارنه کې ننګونې
د کیمیاوي میخانیکي پالش کولو په پروسه کې د سلیري کثافت او واسکاسیټي دوامداره ساتل له ننګونو ډک دي. د سلیري ځانګړتیاوې د ټرانسپورټ، د اوبو یا هایدروجن پیرو اکسایډ سره د کمولو، ناکافي مخلوط کولو، یا کیمیاوي تخریب په څیر فکتورونو له امله توپیر کولی شي. د مثال په توګه، د سلیري ټوټونو کې د ذراتو ځای پرځای کیدل کولی شي په ښکته کې د لوړ کثافت لامل شي، چې د غیر یونیفورم پالش کولو لامل کیږي. دودیزې څارنې میتودونه لکه pH، د اکسیډیشن کمولو ظرفیت (ORP)، یا چالکتیا اکثرا ناکافي وي، ځکه چې دوی د سلیري جوړښت کې د فرعي بدلونونو کشف کولو کې پاتې راځي. دا محدودیتونه کولی شي نیمګړتیاوې، د لرې کولو کچه کمه کړي، او د مصرف وړ لګښتونه زیات کړي، چې د سیمیکمډکټر تجهیزاتو جوړونکو او CMP خدماتو چمتو کونکو لپاره د پام وړ خطرونه رامینځته کوي. د اداره کولو او توزیع کولو پرمهال د جوړښت بدلونونه فعالیت اغیزه کوي. فرعي 10nm نوډونه د سلیري پاکوالي او مخلوط دقت باندې سخت کنټرول ته اړتیا لري. pH او ORP لږترلږه توپیر ښیې، پداسې حال کې چې چالکتیا د سلیري عمر سره توپیر لري. د سلیري غیر متناسب ملکیتونه کولی شي د عیب کچه تر 20٪ پورې لوړه کړي، د صنعت مطالعاتو له مخې.
د ریښتیني وخت څارنې لپاره د لون میټر انلاین سینسرونه
لونمیټر د خپلو پرمختللو غیر اټومي سلیري کثافت میټرونو سره دې ننګونو ته رسیدګي کوي اود رګونو د رګونو سینسرونه، په شمول د ان لاین ویسکوسیټي اندازه کولو لپاره د ویسکوسیټي میټر ان لاین او د الټراسونیک کثافت میټر د یو وخت سلیري کثافت او ویسکوسیټي څارنې لپاره. دا سینسرونه د CMP پروسو کې د بې ساري ادغام لپاره ډیزاین شوي، د صنعت معیاري اړیکو ځانګړتیا لري. د لون میټر حلونه د دې قوي جوړښت لپاره اوږدمهاله اعتبار او ټیټ ساتنه وړاندې کوي. د ریښتیني وخت ډاټا آپریټرانو ته وړتیا ورکوي چې د سلیري مخلوطونه ښه کړي، د نیمګړتیاوو مخه ونیسي، او د پالش کولو فعالیت غوره کړي، دا وسایل د تحلیل او ازموینې تجهیزاتو عرضه کونکو او CMP مصرفي عرضه کونکو لپاره لازمي کوي.
د CMP اصلاح لپاره د دوامداره څارنې ګټې
د لون میټر د انلاین سینسرونو سره دوامداره څارنه د کیمیاوي میخانیکي پالش کولو پروسه د عمل وړ بصیرت او د پام وړ لګښت سپمولو سره بدلوي. د ریښتیني وخت سلیري کثافت اندازه کول او د واسکوسیټي څارنه د صنعت معیارونو سره سم، د سکریچونو یا ډیر پالش کولو په څیر نیمګړتیاوې تر 20٪ پورې کموي. د PLC سیسټم سره یوځای کول د اتوماتیک خوراک او پروسې کنټرول فعالوي، ډاډ ترلاسه کوي چې سلیري ملکیتونه په غوره حدودو کې پاتې کیږي. دا د مصرف وړ لګښتونو کې د 15-25٪ کمښت، د بند وخت کمولو، او د ویفر یونیفورم ښه کولو لامل کیږي. د سیمیکمډکټر فاونډریز او CMP خدماتو چمتو کونکو لپاره، دا ګټې د لوړ تولید، لوړ ګټې حاشیې، او د ISO 6976 په څیر معیارونو سره مطابقت ته ژباړي.
په CMP کې د سلیري څارنې په اړه عامې پوښتنې
ولې د CMP لپاره د سلیري کثافت اندازه کول اړین دي؟
د سلیري کثافت اندازه کول د ذراتو یو شان ویش او د مخلوط ثبات تضمینوي، د کیمیاوي میخانیکي پالش کولو پروسې کې د نیمګړتیاوو مخه نیسي او د لرې کولو کچه غوره کوي. دا د لوړ کیفیت ویفر تولید او د صنعت معیارونو سره مطابقت ملاتړ کوي.
د واسکاسیټي څارنه څنګه د CMP موثریت لوړوي؟
د ویسکوسیټي څارنه د سلیري جریان دوامداره ساتي، د پیډ بندیدو یا غیر مساوي پالش کولو په څیر ستونزو مخه نیسي. د لون میټر انلاین سینسرونه د CMP پروسې غوره کولو او د ویفر حاصلاتو ښه کولو لپاره ریښتیني وخت معلومات چمتو کوي.
د لون میټر غیر اټومي سلیري کثافت میټرونه څه شی ځانګړی کوي؟
د لون میټر غیر اټومي سلیري کثافت میټرونه د لوړ دقت او صفر ساتنې سره په ورته وخت کې کثافت او واسکاسیټي اندازه کول وړاندې کوي. د دوی قوي ډیزاین د CMP پروسې چاپیریال کې د اعتبار ډاډ ورکوي.
د ریښتیني وخت سلیري کثافت اندازه کول او د واسکاسیټي څارنه د سیمیکمډکټر تولید کې د کیمیاوي میخانیکي پالش کولو پروسې غوره کولو لپاره خورا مهم دي. د لون میټر غیر اټومي سلیري کثافت میټرونه او د واسکاسیټي سینسرونه د سیمیکمډکټر تجهیزاتو تولید کونکو، د CMP مصرف کونکو عرضه کونکو، او سیمیکمډکټر فاونډریانو ته د سلیري مدیریت ننګونو باندې بریالي کیدو، نیمګړتیاو کمولو، او ټیټ لګښتونو لپاره وسایل چمتو کوي. د دقیق، ریښتیني وخت معلوماتو په وړاندې کولو سره، دا حلونه د پروسې موثریت لوړوي، اطاعت ډاډمن کوي، او په سیالي کونکي CMP بازار کې ګټه پورته کوي. لیدنه وکړئد لونمیټر ویب پاڼهیا نن ورځ د دوی ټیم سره اړیکه ونیسئ ترڅو ومومئ چې څنګه لون میټر ستاسو کیمیاوي میخانیکي پالش کولو عملیات بدلولی شي.
د پوسټ وخت: جولای-۲۲-۲۰۲۵
